洁净室的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外，还要提供更多东西，例如把洁净的空气送入房间，支撑加工艺设备，为必要的设备维修提供方便的通道，并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净室的地板也提供了电力系统的接地，起到传导和静电耗散的作用，消除ESD积累。
由于所有这些原因，洁净室的地板成为整个洁净室中最重要的组成部分。然而，很多设备经理或工具安装人员，洁净室除尘，在使用洁净室时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子，人们要进入地板下面的空间时，就会认识到——由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块；然后，洁净室防尘，在把地板块放回原处的时候，通常地板块无法完全复原，洁净室，不得不用脚用力在上面跺。而且，在使用工具翻开地板块的时候，经常会损坏它们。
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。其洁净度级别从10万级—30万级，按用途可以分为工业洁净室、生物洁净室、微生物安全实验室；气流组织可分为单向流和非单向流；其中单向流又可分为垂直流和水平流。
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