无尘室风管的制作
A、风管吊装
1、风管的连接:
2.在净化空调系统中，无尘车间隔板，其法兰垫应为不产尘、不宜老化和具有一定强度和弹性的材料，厚度为5～8mm，不得采用乳胶海绵；并不允许直缝对接连接，接缝采用梯形连接严禁在垫料表面涂涂料；其螺母宜在同一侧法兰接口的连接应严密、牢固。垫片不应凸入管内，亦不宜突出法兰外.3.风管空气温度70度以下，制药无尘车间， 法兰垫应为橡胶板，闭孔海棉橡胶板密封胶带或其他弹性闭孔材料.4.风管空气温度70度以上，无尘车间， 法兰垫应为石棉橡胶板.
温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，无尘车间净化，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
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