简 介
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,南通三氟化氮,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,三氟化氮厂家,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
合成方法
在熔融氟铵酸存在下,采用氨直接氟化工艺,其反应式为:
反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器,以及真空蒸馏,可分别除去各种杂质,最后用低温法收集得到NF3。
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