超精密零件加工精度以纳米，零部件加工，甚至最后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，精密零部件加工，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，昆山零部件加工，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
超精密零件加工切削主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削，切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、外表高度光洁的零件。例如超精密零件加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜，精度可达0.1微米，外表粗糙度为Rz0.05微米。
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