温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，无尘车间灯，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，罐装无尘车间，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
十万级无尘车间装修需要注意哪些细节
彩钢板，隔间、吊顶都需要用彩钢板，通常都需要用防火岩棉荚芯彩钢板，隔墙一般彩用50mm防火岩棉彩钢板，而顶板呢？为了考虑今后的维护考虑需来回在顶板走动，我司会建意采用玻镁板，因为此价格较高。当然也会用纸蜂窝彩钢板。纸蜂窝荚芯彩钢板优点：重量轻、强度好，但性价比不高。 岩棉彩钢板作为首板材质作为隔墙，纸蜂窝作为顶板。 地坪：一般采用2mm/3mm环氧地坪或是PVC地坪，地坪材质根据不同行业、面积而定。 A、环氧地坪：面积越大采用的环氧地坪机率越高。优点：环氧地坪耐磨。缺点：修补会有色差、施工周期长。 B、PVC地坪：面积小大部分采用PVC，优点:施工周期快，易修补； 缺点:因为PVC铺设时有拼接缝，易积灰。 送回风管道用热渡锌板制成，无尘车间，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板 高效送风口宜用不锈钢框架，美观清洁，无尘车间隔板，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。 以上是我司通过施工总结出来的经验之谈，当然无尘室的维护及保养也非常重要，直接牵涉到空调系统的正常运行。
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