合成方法
在熔融氟铵酸存在下，三氟化氮阀门，采用氨直接氟化工艺，其反应式为：
反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器，以及真空蒸馏，可分别除去各种杂质，最后用低温法收集得到NF3。
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三氟化氮-制备
由电解熔融的NH4F—HF，经真空分馏制得；也可在Ca催化下，由过量的F2和NH3反应制取。
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