湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或 电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，无尘车间门，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿
。
首先无尘室的墙体材质要选洁净性能好，不会吸附灰尘的材质，并且节能环保，外观看上去美观，造价实惠。施工方便吊顶一般选用50mm的夹心彩钢板，特点是施工周期短，后期维护起来比较方便。洁净室一些配套设备如工作台，led无尘车间，洗手池，无尘车间，鞋凳、地漏等要选择不锈钢材质的，不容易产生灰尘。地面一般选用环氧自流平，特点是耐磨，无尘车间厂，使用时间长，如果一些行业无尘室内需要防静电的，可以选用防静电地板。
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