湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，无尘车间，如果发生在精密装置或 电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，无尘车间灯，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿
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无尘车间怎样有效的防止静电
1、保持净化车间达到一定的湿度，大家都知道北方地区或在干燥的冬季，无尘车间隔墙，所以静电产生的故障要远远大于在东南沿海地区或其他季节，因此在一些重要场所，例如 计算机机房、半导体净化车间、电子仪器的装配车间应考虑保持一定湿度的问题，特别是对那些封闭形的空调房间，更应有一定控制湿度的设备。
2、半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，罐装无尘车间，这种防静电盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。
3、使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。
4、铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品，能十分有效抑制由于人的行走产生静电。 5、对于操作人员应在手腕上带防静电手带，这种手带应有良好的接地性能，这种措施最为有效。
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