无尘车间设计需要哪些参数
1、所属行业 2、净化等级、温湿度要求 3、吊顶高度、层高、梁下高度 4、建筑平面图人物流方向 5、净化车间内所有设备的发热量、功率 6、是否需要设计排风 7、给水、排水的位置 8、工作人员总数,男女比例
无尘车间技术应用
无尘洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,无尘车间灯,对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用 FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,无尘车间,受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,太仓无尘车间,但在满足工艺要求的条件下,无尘车间厂,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别 是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
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