超精密零件加工精度以纳米，甚至最后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，排气管焊接工装夹具，使这些能量超越原子间的联合能，焊接工装夹具，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
制定零件加工工艺的基本原则
(1)精基面先行原则。零件加工必须选合适的表面作为在机床或夹具上的定位基面。作为头一道工艺定位基面的毛坯面，称为粗基面；经过加工的表面作为定位基面的，称为精基面。主要的精基面应先行加工。
(2)粗精分开原则。对精度要求较高的表面，汽车座椅焊接工装夹具，一般应在工件全部粗加工后再进行精加工。这样可消除工件在粗加工时因夹紧力、切削热和内应力引起的变形，医疗轮椅焊接工装夹具，也有利于热处理工序的安排；在大批量生产时，粗、精加工常在不同的机床上进行，这也有利于高精度机床的合理使用。
(3)“一次装夹”原则。在单件、小批量生产中，有位置精度要求的有关表面应尽可能在一次装夹中进行精加工。
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