温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，无尘车间，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，苏州无尘车间，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
无尘车间压差控制
无尘车间压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入无尘车间内的空气量适当的大于回风和排风量时，室内则可维持一定的正压值。此时，在室内外静压差的作用下，通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。 压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净 空调系统来说，过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加，无尘车间，从而影响风量，排风设备的时开时停也会导致排风量的变化；此外，与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查，并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。
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