物理性质
三氟化氮，分子式：NF3。气体分子量：71.01，三氟化氮厂家，熔点：–206.8℃（1atm），沸点：–129℃（1atm），临界温度：–39.3℃，临界压力：44.02atm（4.46MPa），液体密度：1554 kg/m<sup>3（1atm，沸点时），气体密度：2.95 kg/m（1atm，21℃），水中溶解度（1atm，22℃）：1.43×10-5 当量浓度。纯净的NF3气体是一种无色无味的气体，高纯三氟化氮，当混入一定量的杂质气体后颜色发黄，同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃，镇江三氟化氮， 但能助燃。当温度超过350℃时，三氟化氮气体会缓慢分解，三氟化氮气体，分解时产生强 氧化性氟。因此，在 高温下它是一种 强氧化剂。CAS号：7783-54-2。危险性类别：第2.3类有毒气体，在空气中的允许含量为29mg/m。
主要用途
1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有性，操作时应十分谨慎。2.用作高能燃料
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