零件加工精度包括：
尺寸精度：指加工后零件的实际尺寸与零件尺寸的公差带中心的相符合程度。
形状精度：指加工后的零件表面的实际几何形状与理想的几何形状的相符合程度。
位置精度：指加工后零件有关表面之间的实际位置精度差别。
相互关系： 通常在设计机器零件及规定零件加工精度时，精密机械零件加工，应注意将形状误差控制在位置公差内，位置误差又应小于尺寸公差。即精密零件或零件重要表面，苏州精密机械零件加工，其形状精度要求应高于位置精度要求，零部件加工，位置精度要求应高于尺寸精度要求。
超精密零件加工精度以纳米，甚至最后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
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