超精密零件加工精度以纳米，甚至最后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，零件加工，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，精密机械零件加工，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
机械零件加工定做先主后次：根据零件的功用和技术要求，先将零件的主要表面和次要表面分开，然后先安排主要表面的加工，cnc零部件加工，再把次要表面的加工工序插入其中。次要表面一般指键槽、螺孔、销孔等表面。这些表面一般都与主要表面有一定的相对位置要求，应以主要表面做为基准进行次要表面加工，所以次要表面的加工一般放在主要表面的半精加工以后，精加工以前，一次加工结束。也有放在最后加工的，但此时应注意不要碰伤已经加工好的主要表面。
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