就清洗媒介来说,RCA清洗机,湿法清洗仍然是现代先进晶圆清洗工艺的主力。虽然Si技术中的清洗化学材料与最初RCA的配方相差不大,但整体工艺最明显的改变包括:采用了非常稀释的溶液;简化工艺;广泛使用臭氧水。
清洗安全操作规范:
(1)药品使用完后,必须把瓶盖拧紧并放到安全处;
(2)工作台前的外窗门,在使用时和使用后,均应拉下封闭,RCA,防止试剂污染晶片和超净间,危害员工健康;
(3)废液回收时一定要两人同时在场。
清洗的设备仪器
主要以湿法清洗为主,RCA腐蚀机,以下是与湿法清洗相关的设备仪器。有机溶剂清洗机:循环去离子(DI)水,对蓝宝石进行冲洗;形成局部通风区域,对清洗过程产生的有毒腐蚀性气体进行及时排除。
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