简 介
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，南通三氟化氮，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，三氟化氮气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
三氟化氮-安全性
强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧。与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧。
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