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     特殊的电应用(如高温、大功率以及超高速)和光应用(如蓝光发射或UV检测)中有不断增长的提高性能的需求,这要求大大地改进硅以外的许多半导体的制造技术。

     这些材料的例子包括锗,苏州spm清洗硅片供应商,因为它有高于Si的电子迁移率,有可能与高-k栅介质集成;加工应力沟道Si MOSFET所需的SiGe;以及碳化硅SiC,其带隙很宽。除了最*先进的GaAs外,像GaN、InAs、InSb、ZnO等等一些Ⅲ-Ⅴ族半导体也越来越引起人们的兴趣。


      在批次清洗工艺还是在单晶圆清洗工艺中,广东spm清洗硅片供应商,传统的浸没清洗仍起主导作用。在单晶圆清洗工艺时,spm清洗硅片,这一趋势由于太阳电池清洗技术的需求而强化。该技术中,由于被加工衬底的剪切数目(shear number),可选用批次加工方法。可以使选择气相清洗化学过程与批次加工兼容。但同时,单晶圆清洗方法(如旋转清洗)正推进到高端应用领域。


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