清洗的设备仪器
主要以湿法清洗为主，湿法清洗机，以下是与湿法清洗相关的设备仪器。有机溶剂清洗机：循环去离子(DI)水，扬州湿法清洗机台，对蓝宝石进行冲洗；形成局部通风区域，对清洗过程产生的有毒腐蚀性气体进行及时排除。
就清洗媒介来说，湿法清洗仍然是现代先进晶圆清洗工艺的主力。虽然Si技术中的清洗化学材料与最初RCA的配方相差不大，但整体工艺最明显的改变包括：采用了非常稀释的溶液；简化工艺；广泛使用臭氧水。
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