晋宇达(图),绍兴步进光刻机,步进光刻机

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      晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。      随着集成电路产业的发展,高端芯片的集成度已经达到数千至数亿晶体管,推动着...


品牌 晋宇达
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产品详情

      晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。

      随着集成电路产业的发展,高端芯片的集成度已经达到数千至数亿晶体管,推动着芯片封装技术向更高密度、更高性能发展,使基于凸点工艺的封装成为主流技术,步进光刻机,对封装光刻机的性能也大幅提高,杭州步进光刻机,传统的接近/接触式光刻机已不能满足高性能、高密度、低成本等先进封装工艺发展需求,先进的大视场、大焦深、高精度投影光刻机成为先进封装生产线的关键设备。


光刻机

      传统光刻机的投影物镜多采用全折射式设计方案,物镜全部由旋转对准装校的透射光学元件组成。其优点是结构相对简单,绍兴步进光刻机,易于加工与装校,局部杂散光较少。然而,大数值孔径全折射式物镜的设计非常困难。为了校正场曲,必须使用大尺寸的正透镜和小尺寸的负透镜以满足佩茨瓦尔条件,即投影物镜各光学表面的佩茨瓦尔数为零。



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