陶瓷器件,晋宇达,苏州陶瓷器件

     晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。苏州陶瓷器件。

光刻机性能指标

分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。厦门陶瓷器件。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。

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      光刻机的匹配使用是半导体工艺大生产线上提高生产效率的一项重要措施。陶瓷器件。光刻机的匹配主要包括场镜误差的匹配和隔栅误差的匹配，如何调整相同型号光刻机的匹配使用将是本文论述的重点。

所谓光刻机的匹配使用是指同一产品不同的工艺图层可以分别在不同型号或同一型号不同系列的光刻机上进行光刻，而不影响光刻工艺的质量。

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