光刻机,晋宇达(在线咨询),东莞光刻机厂

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     张家港晋宇达电子科技有限公司客户主要分布在北京,上海,苏州,无锡,绍兴,东莞光刻机备件,深圳,东莞光刻机,东莞,厦门,福州,西安等地区。扫描步进投影曝光(Scanning-Stepping Project Printing)...


品牌 晋宇达
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     张家港晋宇达电子科技有限公司客户主要分布在北京,上海,苏州,无锡,绍兴,东莞光刻机备件,深圳,东莞光刻机,东莞,厦门,福州,西安等地区。

扫描步进投影曝光(Scanning-Stepping Project Printing)。90年代末~至今,用于≤0.18μm工艺。采用6英寸的掩膜板按照4:1的比例曝光,曝光区域(Exposure Field)26×33mm。优点:增大了每次曝光的视场;提供硅片表面不平整的补偿;提高整个硅片的尺寸均匀性。但是,同时因为需要反向运动,增加了机械系统的精度要求。


光刻机

      传统光刻机的投影物镜多采用全折射式设计方案,东莞光刻机厂,物镜全部由旋转对准装校的透射光学元件组成。其优点是结构相对简单,易于加工与装校,光刻机,局部杂散光较少。然而,大数值孔径全折射式物镜的设计非常困难。为了校正场曲,必须使用大尺寸的正透镜和小尺寸的负透镜以满足佩茨瓦尔条件,即投影物镜各光学表面的佩茨瓦尔数为零。



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