洁净室的一些问题
复合式(Mixed Type)：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，万级无尘车间，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，无尘车间施工，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，000~100，湖州无尘车间，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，包装无尘车间，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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洁净室（区）的空间布置应满足的要求：
1、生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置，并应做到有效、灵活和操作方便。
2、各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求。
3、终端高xiao空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置，应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求。
4、洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。
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