硅烷有毒。硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等，硅烷，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。
硅烷广泛应用于微电子、光电子工业。可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、异质硅、各种金属硅化物等。因为它高纯度和能实现精细控制，硅烷减压阀，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。在高于400℃的环境下，硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后，硅烷出口，剩下的就是纯硅了。此外，硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外，还有很多制造工厂需要用到硅烷气，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。
毒性资料
LD50：－ LC50：9600ppm/4小时
毒性效应：
其他注意事项：研究发现，当老鼠暴露在10000ppm下1小时或 ≥2500ppm下4小时会 对肾产生影响。老鼠暴露在1000ppm，硅烷阀门，6小时/天，5天/周下2到4周后只有轻微的呼吸道刺激。硅烷会引起细菌的变异。
致癌性：至今未被发现致癌。
生态资料
可能之环境影响/环境流布：
流动性：由于在空气中自燃，它会在进入土壤之前燃烧掉。
持续性及生物降解：由于在空气中燃烧并分解，硅烷不会在环境中长期存在。
潜在的生物富集：硅烷不会在生物中积累。
注：硅烷不含有任何1类或2类的分解臭氧的化学物质。
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