复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，百级洁净室哪家好，可提供局部超洁净之空气。
垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，洁净室，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
洁净室工作人员注意事项 进入万级洁净室的程序： 1.踏上换鞋区入口之地板前，必须先将外鞋脱下。 2.将外鞋置于一般鞋之鞋柜之中。 3.进入换衣区换穿无尘衣。 4.依规定进入风淋室作空气浴： 1.进入洁净室之前，必须先经过风淋机吹洗。 2.风淋室内，不可超过2个人同时进入。 3.为避免影响空气正常循环及除尘效果，人员不可倚靠在空气洗净室的门或墙上。 4.人员必须站立于空气洗净室中央踏脚板上轻微摇动双手、双腿，以帮助灰尘掉落。 5.风嘴方向正常应是向下吹气，请勿随意拨弄调整好的风嘴方向，以求达到最-大的除尘效果。 进入十级洁净室注意事项： 进入十级洁净室应再换换穿洁净室专用之无尘衣。穿着无尘衣之规定为： 1.头发必须盖在头罩之内，必要时可使用发罩。 2.口、鼻必须盖在口罩之内：口罩使用后即应丢弃，不可重复使用。 3.头罩下摆必须完全扎入无尘衣之衣领内。 4.无尘衣穿着程序：(1)发罩 (2)口罩 (3)头罩 (4)无尘衣 (5)无尘鞋 (6)手套。 5.当穿上无尘服时，识别证必须挂在无尘服外。 6.穿戴手套之前须先确定正面，并作充气试验，洁净室，确定无漏方可使用。 7.手套穿戴后，手腕部份应藏于无尘衣袖内。 8.进入洁净室前应再经过空气洗净室，空气洗净室每次至多2人进入。
