层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，洁净室，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，洁净室等级，尘埃随风向排出室外，洁净室，一般在下流侧污染较严重。
洁净室:
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，洁净室工程，这也就是业内俗称的1K级别。
空态洁净室：
已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员，也没有操作的设备。
