层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，洁净室，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，百级洁净室哪家好，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，工业洁净室，一般在下流侧污染较严重。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，洁净室等级，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
