流量监控
激光尘埃粒子计数器的采样流量一般为2.83L/min或28.3L/min，进口仪器常标识为0.1cfm（立方英尺每分钟）或1cfm，主要是为了便于进行符合Fed-Std-209E的洁净度的计算。大流量的采样（28.3L/min）更能准确地反映空气的洁净状况，但使最-大采样浓度降低。
气泵及过滤器
气泵位于激光尘埃粒子计数器内部，气泵使仪器产生采样流量。气泵要求噪音低、振动小、产生的气流稳定。过滤器应能过滤掉0.3μm以上的微粒，太仓激光尘埃粒子计数器，以免从仪器排出的空气对洁净区产生影响。
粒子计数器的原理
空气中的微粒在光的照射下会发生散射，激光尘埃粒子计数器 ，这种现象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，激光尘埃粒子计数器，有一个基本规律，就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样只要测定散射光的强度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子计数器的基本原理。
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