复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域1-00%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，洁净室，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，万级洁净室，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，洁净室等级，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净室洁净度受哪些因素影响：
室内气流流型及分布情况
单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；
洁净室的洁净程度是非常重要的，直接关系到产品的质量问题，因此，很多厂家绞尽脑汁的去解决这一问题，到头来反而没有收到多少成果。为什么会这样呢？没有明白洁净室的污染源来自于哪里。因此了解污染来源才能够减少污染，达到最-大程度上的洁净。
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