晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
国产首台先进封装光刻机的研制成功与使用，东莞陶瓷手臂，标志着我国在高端封装关键设备产品创新与开发中取得了可喜突破，陶瓷手臂，对提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力具有重要意义。
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步进重复投影曝光（Stepping-repeating Project Printing或称作Stepper）。80年代末～90年代，0.35μm（I line）～0.25μm（DUV）。掩膜板缩小比例（4：1），曝光区域（Exposure Field）22×22mm（一次曝光所能覆盖的区域）。增加了棱镜系统的制作难度。
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